CamScan CrystalProbe X500FE

Le CamScan Crystal Probe X500FE est un microscope électronique à balayage à canon à émission de champ. Il a été installé en février 2008 au sein du Service Commun de Microscopie Électronique de l’Université de Montpellier. Il a été financé par l’INSU-CNRS, le ministère de l’Éducation et de la Recherche et la région Langeudoc-Roussillon. Il fait partie des instruments nationaux INSU dans le cadre de la Plateforme d’Expérimentation, Synthèse et Analyses Nanométriques.

Crystal probe

Ce MEB a été développé dès sa conception pour l’analyse EBSD. Il a ainsi la particularité d’avoir sa colonne électronique inclinée à 70°, ce qui permet de garder l’échantillon horizontal lors des analyses. Il est équipé d’un détecteur EBSD HKL NordlysNano pour l’analyse cristallographique et d’un détecteur EDS X-MaxN 20mm² pour l’analyse chimique, les deux étant pilotés par le logiciel AZtecHKL. Il offre la possibilité de travailler en mode « vide contrôlée » pour analyser les échantillons peu conducteurs. Les analyses peuvent être effectuées avec une résolution de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres.

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Fabrice Barou

Géosciences Montpellier
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