MEB FEG FEI Quanta 200

Microscope Électronique à Balayage FEI Quanta 200 FEG

Le microscope FEI Quanta 200 FEG est un microscope électronique à balayage à canon à émission de champ (Field Emission Gun).
Cet appareil permet d’observer des échantillons dans trois modes différents :

  • Haut vide, pour les échantillons conducteurs et ceux qui vont nécessiter une préparation, ainsi qu’une métallisation.
  • Pression contrôlée, pour les échantillons non-conducteurs. Ce mode peut éviter de réaliser une préparation.
  • Environnemental, ce mode permet l’observation d’échantillons hydratés à l’aide d’une platine refroidissante par effet Peltier, permettant de faire varier la température de -25°C à +55°C.

Caractéristiques techniques:

2200 FS

FEI Quanta 200 FEG

Source : Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky

Tension d’accélération : 200 V à 30 kV

Vide :

  • Mode haut vide (HV) <6 e -4 Pa
  • Mode faible vide (LV) de 10 à 130 Pa
  • Mode environnemental (ESEM) de 10 à 4000 Pa

Résolution en électrons secondaires :

  • 0,8 nm à 30 kV (STEM) (Mode HV)
  • 1,2 nm à 30 kV et 3 nm à 1 kV (SE) (Mode HV)
  • 1,5 nm à 30 kV et 3 nm à 3 kV (SE) (Mode LV)
  • 1.5nm à 30 kV (SE) (Mode ESEM)

Imagerie :

  • en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV, LFD en mode LV, GSED en mode ESEM)
  • en électrons rétrodiffusés (BSED en modes HV et LV, GAD en modes LV et GBSED en mode ESEM)
  • en électrons transmis (STEM en modes HV et LV, WetSTEM en mode ESEM)

Équipements :

  • Platine Peltier équipée du module WetSTEM
  • Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD (Oxford Instruments X-Max 50mm2)

Exemples d’analyses:

 

Contact

Mr. Frédéric Fernandez
MEA
Université de Montpellier
Place E. Bataillon, Bât 24, cc 87
34095 Montpellier cedex 5 – France
Tel: 04 67 14 92 47
Courriel

 

Publications