Le microscope électronique à balayage  Camscan Crystal Probe X500FE a fait peau neuve, en changeant ses deux détecteurs d’analyse.

Il est aujourd’hui équipé d’un détecteur EBSD Symmetry de technologie CMOS (financement sur appel à projets soutien à la recherche I-SITE MUSE) pour l’analyse cristallographique et d’un détecteur EDS UltimMax 100 (financement sur appel d’offres mi-lourds INSU-CNRS) pour l’analyse chimique, les deux étant pilotés par le logiciel AZtecHKL d’Oxford Instruments.

Ce MEB, instrument national de l’INSU, a été développé dès sa conception pour la cartographie cristallographique à haute résolution, par diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD). Il a ainsi la particularité d’avoir sa colonne électronique inclinée à 70°, ce qui permet de garder l’échantillon horizontal lors des analyses. Il n’existe qu’un seul autre exemplaire de ce type au monde, à Liverpool.

Dédié à l’analyse EBSD, il était important qu’il conserve un détecteur à la pointe de la technologie. Et c’est grâce à un financement I-SITE MUSE, qu’il a été possible de prendre le virage des nouvelles caméras EBSD à technologie CMOS. Les détecteurs CMOS sont à la fois plus rapides et plus sensibles que les détecteurs CCD. Outre le gain en vitesse d’analyse, ils permettent de conserver une très bonne sensibilité à des courants et des tensions d’accélération assez bas, ce qui est un avantage conséquent pour les échantillons résistants peu au bombardement électronique.

 

 

Ci-après est présenté un exemple montrant les avantages de la caméra CMOS sur la caméra CCD. Il s’agit ici de cartographie d’orientation sur un schiste à antigorite, une phase hydratée à la structure complexe et difficile à analyser. La nouvelle caméra EBSD Symmetry l’emporte à tous les niveaux. Elle apporte un gain de vitesse (d’un facteur 5). Mais surtout, elle améliore sensiblement la qualité des mesures. Le taux d’indexation est nettement supérieur (93% contre 80%). On peut aussi constater sur les images ci-dessus qu’il y a beaucoup moins d’erreurs de mesure (moins de bruit à l’intérieur des grains).