MEB JEOL IT510LV
Microscope Électronique à Balayage JEOL IT510LV
Le microscope JEOL IT 510 LV est un microscope électronique à balayage conventionnel versatile. Ce MEB de routine est dédié à l’utilisation en autonomie et à la formation des étudiants / permanents.
Il dispose d’une caméra optique pour photographier la platine échantillon (fonction zéro mag et localisation des clichés sur la photo optique) et d’une caméra infrarouge pour visualiser l’intérieur de la chambre. Il intègre une grande chambre avec une platine de type eucentrique.
Cet appareil fonctionne sous vide poussé (high vacuum), pour étudier les échantillons conducteurs et les échantillons nécessitant une préparation ainsi qu’une métallisation. Il fonctionne également en vide partiel ou pression contrôlée (low vacuum).
Il est équipé d’un détecteur EDS X-Max 80mm² d’Oxford Instruments et d’une caméra EBSD Nordlys Nano d’Oxford Instruments.
Ce MEB fait partie des appareils de le PAC Chimie Balard.
Financements : UM, MEA, GM.
Caractéristiques techniques :
Source : Tungsten
Tension d’accélération : 0.5kV à 30 kV (pas de 100V jusqu’à 3kV et d’1kV au-delà)
Vide :
- Mode haut vide (HV)
- Mode pression controlée (LV) de 10 à 650 Pa
Résolution :
- 2.5 nm (30 kV SE), 10.0 nm (1.0 kV SE) (Mode High vacuum)
- 4.0 nm (30 kV BED) (Mode Low vacuum mode)
Gamme de grandissement :
- 5x à 300,000x
Imagerie :
- en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV)
- en électrons rétrodiffusés (BSED)
Équipements :
- Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD (Oxford Instruments X-Max 80mm2)
- Logiciel pour la Cartographie EDS: Oxford Instruments Aztec
- Détecteur EBSD Nordlys Nano (Oxford Instruments)
Platine goniométrique :
- Platine échantillon 5 axe du type « EUCENTRIQUE »
- Mouvements goniométriques motorisés dans les 5 axes :
X : 125 mm, Y : 100 mm en continu
Z : 5 à 80 mm (Distance de travail) en continu
Inclinaison de -10° à + 90°
Rotation sans fin de 360° (dans le plan d’inclinaison d’objet)