MEB FEG FEI Quanta 200
Microscope Électronique à Balayage FEI Quanta 200 FEG
Le microscope FEI Quanta 200 FEG est un microscope électronique à balayage à canon à émission de champ (Field Emission Gun).
Cet appareil permet d’observer des échantillons dans trois modes différents :
- Haut vide, pour les échantillons conducteurs et ceux qui vont nécessiter une préparation, ainsi qu’une métallisation.
- Pression contrôlée, pour les échantillons non-conducteurs. Ce mode peut éviter de réaliser une préparation.
- Environnemental, ce mode permet l’observation d’échantillons hydratés à l’aide d’une platine refroidissante par effet Peltier, permettant de faire varier la température de -25°C à +55°C.
Financement : MEA, Région Languedoc-Roussillon, CNRS
Caractéristiques techniques :
Source : Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Tension d’accélération : 200 V à 30 kV
Vide :
- Mode haut vide (HV) <6 e -4 Pa
- Mode faible vide (LV) de 10 à 130 Pa
- Mode environnemental (ESEM) de 10 à 4000 Pa
Résolution en électrons secondaires:
- 0,8 nm à 30 kV (STEM) (Mode HV)
- 1,2 nm à 30 kV et 3 nm à 1 kV (SE) (Mode HV)
- 1,5 nm à 30 kV et 3 nm à 3 kV (SE) (Mode LV)
- 1.5nm à 30 kV (SE) (Mode ESEM)
Imagerie :
- en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV, LFD en mode LV, GSED en mode ESEM)
- en électrons rétrodiffusés (BSED en modes HV et LV, GAD en modes LV et GBSED en mode ESEM)
- en électrons transmis (STEM en modes HV et LV, WetSTEM en mode ESEM)
Équipements :
- Platine Peltier équipée du module WetSTEM
- Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD (Silicon Drift Detector) Ultim Max 100 mm2 d’Oxford Instruments.
- Cathodoluminescence Centaurus avec un phtomultiplicateur 400nm-1200nm de chez DEBEN.
Exemples d’analyses :
- Imagerie secondaire : grain de pollen d’olivier :
- Imagerie rétro-diffusé : circuit imprimé
- Cartographie EDS : circuit imprimé
- Spectre EDS : circuit imprimé:
