MEB
La Microscopie Électronique à Balayage est une technique de microscopie électronique qui par balayage de l’échantillon par un faisceau d’électrons est capable de produire des images de la surface d’un échantillon.
La plateforme est équipée d’un microscope électronique à balayage environnemental :
- le FEI Quanta 200 FEG
et d’un microscope électronique à balayage conventionnel :
- le Hitachi S-2600N
MEB : Principe
Dans un Microscope Électronique à Balayage, un faisceau électronique balaye la surface d’un échantillon. L’interaction électron-matière génère alors plusieurs types d’émissions, comme le montre le schéma simplifié ci-contre. Les électrons secondaires permettent d’imager la surface de l’échantillon, avec un contraste topographique. Les électrons rétrodiffusés donnent une image avec un contraste chimique sur une surface plane. Les photons X rendent possible l’analyse chimique en Spectroscopie à Dispersion d’Énergie (EDS).
EDX : Principe
L’analyse dispersive en énergie EDX (Energy Dispersive X-ray spectrometry) permet d’obtenir une analyse quantitative ou qualitative, suivant les conditions, des éléments chimiques dans un échantillon solide et dans un volume micrométrique (une sphère de quelques centaines de nanomètres à quelques micromètres), en comptant le nombre de photons X émis par ce dernier pendant un temps déterminé quand il est bombardé par un faisceau d’électrons.
