Microscope Électronique à Balayage Hitachi S-2600N

Le microscope Hitachi S-2600N est un microscope électronique à balayage conventionnel. Ce MEB de routine est dédié à l’utilisation en autonomie et à la formation des étudiants / permanents . 

Cet appareil fonctionne sous vide poussé (high vacuum), pour étudier les échantillons conducteurs et les échantillons nécessitant une préparation ainsi qu’une métallisation.
Il fonctionne également en vide partiel ou pression contrôlée (low vacuum) mais uniquement en électrons rétrodiffusés.

Ce MEB fait partie des appareils de le PAC Chimie Balard.

Financements: ICGM, MEA.

Caractéristiques techniques:

Hitachi S-2600N

Source : Tungsten

Tension d’accélération : 500 V à 30 kV

Vide :

  • Mode haut vide (HV) <1.5 e -3 Pa
  • Mode pression controlée (LV) de 1 à 270 Pa

Résolution en électrons secondaires :

  • 4 nm à 30 kV (SE) (Mode HV)
  • 5 nm à 30 kV (BSE) (Mode HV)

Imagerie :

  • en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV)
  • en électrons rétrodiffusés (BSED)

Équipements :

  • Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD (Oxford Instruments X-Max 80mm2)
  • Logiciel pour la Cartographie EDS: Oxford Instruments Aztec

Exemples d’études :